有機廢氣處理中生物凈化法實質上是一種氧化分解過程：附著在多孔、潮濕介質上的活性微生物以廢氣中有機組分作為其生命活動的能源或養分，轉化為簡單的無機物(CO2、H2O)或細胞組成物質。現階段主要工藝包括：生物過濾床、生物滴濾床以及生物洗滌床。

生物過濾床：東莞廢氣治理的生物過濾床是一種在其中填入具有吸附性濾料(如泥炭、土壤、活性炭等物質)的凈化裝置。掛生物膜前，在過濾床中摻入pH緩沖劑和N、P、K等營養元素(如NH4NO3和K2HPO3)，當具有一定濕度的廢氣進入生物濾床，通過約0.5～1m厚的生物活性填料層時，濾料中的微生物(主要是細菌、放線菌、原生動物、藻類等)即可通過接觸而捕獲廢氣中的有機物并將其作為自身生長的碳源。因此，廢氣通過生物過濾床后即可被凈化，而濾料層中的微生物在生化降解污染物的過程中不斷生長繁殖，從而使生物濾池的操作得以持續進行。濾料使用一年后一般呈酸性，要定期進行維護和保養。

生物滴濾床：東莞廢氣治理的生物滴濾池與生物濾池的結構相似，不同之處在于其頂部設有噴淋裝置。生物滴濾床使用的是粗碎石、塑料蜂窩狀填料、塑料波紋板填料、陶瓷、不銹鋼拉西環、樹皮、活性炭纖維、微孔硅膠等一類不具吸附性的填料，填料的表面是微生物形成的幾毫米厚的生物膜。廢氣通過滴濾池時，廢氣中的污染物被微生物降解，生物滴濾池在營養供給和微生物生長環境的調節方面具有優勢，可承受比生物濾池更大的污染負荷，同時具有很大的緩沖能力，操作條件也易于控制，可通過調節循環液的pH，加入K2HPO4、NH4NO3等物質得以實現。
生物洗滌塔：東莞廢氣治理的生物洗滌塔通常由一個裝有填料的洗滌器和一個具有活性污泥的生物反應器構成。洗滌器里的噴淋裝置將循環液逆著氣流噴灑，使廢氣中的污染物與填料表面的水接觸，被水吸收而轉入液相，從而實現質量傳遞過程。吸收了廢氣組分的洗滌液，流入活性污泥池中，通入空氣充氧后再生，被吸收的氣態污染物通過微生物氧化作用，被活性污泥懸浮液從液相中除去，生物洗滌塔工藝中的液相是流動的，這有利于控制反應條件，便于添加營養液、緩沖劑和更換液體，除去多余的產物。

不同成分、濃度及氣量的氣態污染物各有其有效的生物凈化系統。生物洗滌塔適宜于處理凈化氣量較小、濃度大、易溶且生物代謝速率較低的廢氣；對于氣量大、濃度低的廢氣可采用生物過濾床；而對于負荷較高以及污染物降解后會生成酸性物質的則以生物滴濾床為好。